2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[23p-P07-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

2021年9月23日(木) 13:00 〜 14:40 P07 (ポスター)

13:00 〜 14:40

[23p-P07-11] RF-MBE法を用いたN極性AlNテンプレート基板上InN結晶成長

篠田 悠平1、福田 安莉1、橘 秀紀1、毛利 真一郎1、正直 花奈子2、三宅 秀人2,3、荒木 努1 (1.立命館大理工、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ)

キーワード:窒化物、極性