[23p-P07-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23p-P07-13] 組成が異なるAlGaN 混晶薄膜における暗点のCL 強度プロファイル解析

〇倉井 聡¹、平山 舜¹、Li Jin¹、中谷 文哉¹、岡田 成仁¹、三宅 秀人^2,3、山田 陽一¹ (1.山口大院創成科学、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ)

キーワード：AlGaN、欠陥、カソードルミネッセンス