[23p-P11-1~25] 17 ナノカーボン(ポスター)

[23p-P11-16] オキシクロライドCVDによるMoS₂成膜過程へのO₂添加効果

〇佐久間 芳樹¹、Yang Xu¹、Li Shisheng¹、池田 直樹¹ (1.物材機構)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、二硫化モリブデン、化学気相成長法