2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

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[23p-P11-1~25] 17 ナノカーボン(ポスター)

2021年9月23日(木) 15:00 〜 16:40 P11 (ポスター)

15:00 〜 16:40

[23p-P11-21] WS2-Ti エッジコンタクト界面でのチタン原子と硫黄原子の相互拡散

立松 真一1、濱田 昌也1、濱田 拓也1、宗田 伊理也1、若林 整1 (1.東工大)

キーワード:WS2、エッジコンタクト

層状半導体であるWS2は、原子レベル の薄膜領域にて高い移動度とバンドギャップを持つことから近年注目を集めている。本研究ではWS2とTiを用いて、電気特性的に優れており、積層ナノシートへのコンタクトが容易といった利点も持つエッジコンタクト構造を作成した。デバイス作成後アニールを行い、それによる電気特性の変化を確認したのち、その界面の状況をTEM-EELSによって確認した。