The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021

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Poster presentation

17 Nanocarbon Technology » 17 Nanocarbon Technology(Poster)

[23p-P13-1~22] 17 Nanocarbon Technology(Poster)

Thu. Sep 23, 2021 5:00 PM - 6:40 PM P13 (Poster)

5:00 PM - 6:40 PM

[23p-P13-16] Synthesis of 1T-phase WSe2 thin films by plasma irradiation

Tomohiro Shida1, Keiji Ueno1 (1.Saitama Univ.)

Keywords:layered material, transition metal dichalcogenide, phase transition

二硫化モリブデン(MoS2)に代表される6族の層状遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)の多くは、安定な半導体相と準安定な半金属相を有する。本研究では、MoS2と同じ結晶構造を有する二セレン化タングステン(WSe2)の薄膜を化学気相成長(CVD)法によって合成し、H2/Ar混合ガスプラズマを照射することで、相転移の可否を検証した。