[23p-P13-1~22] 17 Nanocarbon Technology(Poster)

[23p-P13-16] Synthesis of 1T-phase WSe₂ thin films by plasma irradiation

〇Tomohiro Shida¹, Keiji Ueno¹ (1.Saitama Univ.)

Keywords:layered material, transition metal dichalcogenide, phase transition

二硫化モリブデン(MoS₂)に代表される6族の層状遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)の多くは、安定な半導体相と準安定な半金属相を有する。本研究では、MoS₂と同じ結晶構造を有する二セレン化タングステン(WSe₂)の薄膜を化学気相成長(CVD)法によって合成し、H₂/Ar混合ガスプラズマを照射することで、相転移の可否を検証した。