[23p-P13-1~22] 17 ナノカーボン(ポスター)

[23p-P13-16] プラズマ照射を用いた1T相WSe₂薄膜の形成

〇志田 知洋¹、上野 啓司¹ (1.埼玉大院理工)

キーワード：層状物質、遷移金属ダイカルコゲナイド、相転移

二硫化モリブデン(MoS₂)に代表される6族の層状遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)の多くは、安定な半導体相と準安定な半金属相を有する。本研究では、MoS₂と同じ結晶構造を有する二セレン化タングステン(WSe₂)の薄膜を化学気相成長(CVD)法によって合成し、H₂/Ar混合ガスプラズマを照射することで、相転移の可否を検証した。