15:00 〜 15:50 [17p-P07-3] ナノインデンテーション法を用いたシリコンの熱輸送特性の測定 〇則正 雄賀1、長谷 匡高1、速水 舞1、室谷 裕志1、宮崎 康次2、高尻 雅之1 (1.東海大工、2.九州工業大)