14:15 〜 14:45 [17p-Z26-3] [第12回シリコンテクノロジー分科会論文賞受賞記念講演] c-Si表面パッシベーションにおけるプラズマ誘起欠陥とバンド構造 〇布村 正太1、坂田 功1、榊田 創1、古閑 一憲2、白谷 正治2 (1.産総研、2.九大)