松浦賢太朗

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発表者・著者、共著者

2021年3月17日(水) 13:30 〜 18:00 Z26 (Z26)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[17p-Z26-1~15] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

15:00 〜 15:15

[17p-Z26-5] [第12回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演] 大面積集積化に向けたPVD堆積ノーマリオフMoS₂-nMISFETs

〇松浦賢太朗¹ (1.ソニー株式会社)