17:00 〜 17:50 [19p-P06-1] n+GaN 基板上n-GaN 層の光電気化学(PEC)エッチング時のカソード電極 福原 昇1、〇堀切 文正1、渡久地 政周2、三輪 和希2、大神 洸貴2、佐藤 威友2 (1.サイオクス、2.北海道大学)