14:00 〜 14:15 [17p-Z13-3] Pt結晶膜上へのTa2O5圧電薄膜の成膜と評価 〇(B)松浦 佳祐1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、小寺 正徳2、船窪 浩2 (1.山梨大、2.東工大)