11:30 〜 11:45 [16a-Z13-10] 化学気相成長法を用いて形成した厚絶縁膜の化学結合と電気特性の関係 〇阿久津 敏1、伊藤 和幸1、菊地 拓雄1、牧野 伸顕1、北原 義之1、大黒 達也2、藤 慶彦2、高橋 眞理2、樫浦 由貴子2 (1.東芝、2.東芝デバイス&ストレージ)