09:15 〜 09:30 [17a-Z10-1] 微結晶シリコンを用いた光位相シフタ導波路の設計と製作 〇(M2)中島 雪暢1、庄司 雄哉1、武井 亮平2、水本 哲弥1、亀井 利浩2 (1.東工大、2.産総研)