17:45 〜 18:00 [18p-Z05-16] 第一原理計算によるwet酸化SiC(000-1)/SiO2界面の欠陥構造解析 〇(M1)綱崎 夢開1、民部 優輝1、植本 光治1、小野 倫也1 (1.神戸大工)