11:00 〜 11:15 [16a-Z10-7] スロット導波路のダメージフリー作製プロセス 〇阿部 峻佑1,2、松山 薫2、原 英生2、増田 伸2、山田 博仁1 (1.東北大工、2.Advantest labs. Ltd.)