13:45 〜 14:00 [19p-Z25-4] 光電気化学エッチング法を用いたAlGaInN/AlGaNリセスゲートHFETの作製 〇伊藤 滉朔1、小松 裕斗1、渡久地 政周1、井上 暁喜2、三好 実人2、佐藤 威友1 (1.北大量集センター、2.名工大)