14:00 〜 14:15 △ [18p-Z09-3] メッシュフォノニク構造を用いたテラヘルツMEMSセンサの熱感度の向上 〇山本 稜子1、長井 奈緒美2、平川 一彦2,3、小島 明1、越田 信義1、張 亜1 (1.農工大工、2.東大生研、3.東大ナノ量子機構)