11:15 〜 11:30 △ [19a-Z33-9] GaCl-O2系HVPE法によるβ-Ga2O3成長における過剰Cl2供給効果 〇森 あかね1、税本 雄也1、後藤 健1、熊谷 義直1 (1.東京農工大工)