16:15 〜 16:30 △ [19p-Z13-11] 種々のZr/(Zr+Ti)比を有する分極軸配向正方晶PZTエピタキシャル膜の特性評価 〇(M1C)大越 春香1、森川 友秀1、舘山 明紀1、小寺 正徳1、白石 貴久1、江原 祥隆2、舟窪 浩1 (1.東工大、2.防大)