14:00 〜 14:50 [19p-P02-6] マイクロ波プラズマ CVD 法による窒素ドープグラフェンの成膜 〇アディカリ スディープ1,2、朱 儒成1,2、ウィシュワカルマ リテシ ュ1、梅野 正義1 (1.シーズテクノ、2.中部大)