13:30 〜 13:45 [18p-Z29-1] 三次元キャリアシミュレーションを用いた多結晶Si中三重点の電気的特性の評価 〇(M2)三田村 和樹1、沓掛 健太朗2、小島 拓人3、宇佐美 徳隆1 (1.名大院工、2.理研AIP、3.名大院情報)