14:30 〜 14:45 △ [17p-Z33-5] X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価 〇吉岡 和俊1、小原田 賢聖1、小笠原 凱1、廣沢 一郎2、渡辺 剛2、横川 凌1,3、小椋 厚志1,3 (1.明治大理工、2.高輝度光科学研究センター、3.明大MREL)