14:00 〜 14:15 [16p-Z26-3] 大容量低消費電力メモリ応用に向けたMoS2チャネルを有するHfO2系強誘電体トランジスタの実験実証 〇(M2)項 嘉文1、張 文馨2、更屋 拓哉1、入沢 寿史2、平本 俊郎1、小林 正治1 (1.東大生研、2.産総研)