17:00 〜 17:50 [19p-P06-5] 高Al組成AlGaN薄膜からの熱電子放出特性における酸素の影響 〇藤本 拓矢1、木村 重哉2、吉田 学史2、宮崎 久生2、荻野 明久1 (1.静大院工、2.(株)東芝)