15:00 〜 15:15 [18p-Z33-7] マグネトロンスパッタ成膜 ZnO 透明導電膜における Al, Ga, In 及び Ti ドーピング特性 〇野本 淳一1、牧野 久雄2、土屋 哲男1、山本 哲也2 (1.産総研先進コーティング技術研究センター、2.高知工科大総研)