13:00 〜 13:50 [16p-P01-3] コールドウォール反応管を用いた減圧化学気相法による c 面サファイア基板への六方晶窒化ホウ素薄膜の成長 〇渡邊 泰良1、松下 一貴1、田中 祐樹1、吉岡 陸1、増田 克仁1、小南 裕子1、原 和彦2,3 (1.静岡大総合研、2.静岡大創科院、3.静岡電子研)