16:30 〜 16:45 [19p-Z29-13] As-grown Si単結晶中の格子間Si系欠陥形態の考察 〇神山 栄治1,2、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県大情報工)