10:45 〜 11:00 [17a-Z28-7] SiC (000-1)面エピにおけるキャロット欠陥の挙動 〇榎薗 太郎1、宮瀬 貴也1、西原 弘樹1、近藤 哲郎1、伊東 洋典1、堀 勉1、古米 正樹1 (1.住友電気工業株式会社)