13:00 〜 13:50 [19p-P01-16] グラフェンを用いたGaNリモートエピタキシーのその場XRD解析 〇福家 聖也1、佐々木 拓生2、川合 良知1、日比野 浩樹1 (1.関学大理工、2.量研)