11:15 〜 11:30 △ [19a-Z17-6] リモート酸素ラジカルによるグラフェンのエッチング反応の分析 〇胡 留剛1、堤 隆嘉2、蕭 世男2、近藤 博基2、石川 健治2、関根 誠2、堀 勝2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ)