14:00 〜 14:15 △ [19p-Z25-5] 選択再成長オーミックコンタクトを用いたAlGaNチャネルHFETの作製と特性評価 〇井上 暁喜1、原田 紘希1、山中 瑞樹1、江川 孝志1、三好 実人1 (1.名工大)