14:30 〜 14:45 [16p-Z32-5] プレーナ型ユニレグシリコン熱電素子の性能評価と薄膜寸法最適化 〇柳澤 亮人1、Ruther Patrick2、Paul Oliver2、野村 政宏1 (1.東大生研、2.フライブルク大学)
14:45 〜 15:00 △ [16p-Z32-6] キャップ構造を用いたプレーナ型ユニレグシリコン熱電素子の開発 〇柳澤 亮人1、Ruther Patrick2、Paul Oliver2、野村 政宏1 (1.東大生研、2.フライブルク大学)