15:00 〜 15:15 [17p-Z13-6] c軸傾斜配向ScAlN薄膜の横波反射率測定による液体の粘性評価 〇(M1)山下 美穂1,2、木下 紗里那1,2、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)