チュートリアル
[16a-Z12-1~1] 半導体製造プロセスにおけるAI技術適用と機械学習の基礎
2021年3月16日(火) 09:00 〜 12:00 Z12 (Z12)
世話人：佐藤 哲也、山羽 隆、栗原 一彰、古閑 一憲
企画母体:プラズマエレクトロニクス分科会
09:00 〜 12:00
〇守屋 剛、〇狐塚 正樹1 (1.東京エレクトロン（株）)
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