[16a-P02-1~19] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

[16a-P02-5] Selective noble-metal deposition on photocurable polymer surface for fine metal patterning

〇(B)Akari Nishimura¹, Tsuyoshi Tsujioka¹ (1.Osaka kyoiku Univ.)

Keywords:Selective metal-vapor deposition, Polydimethylsiloxane, fine metal patterning

我々はフォトクロミック・ジアリールエテンの金属蒸着選択性による微細な金属パターン形成を報告してきが、金属種が制限されるため高伝導性金属では実現できていなかった。本研究では、光硬化性ポリジメチルシロキサンを用いた、貴金属の蒸着選択性による微細金属パターンの可能性を探った。レーザー走査による微細硬化パターン形成とマスクレスAg蒸着により、4μm幅のAgパターン形成に成功した。