[16a-P02-1~19] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[16a-P02-5] 光硬化性高分子膜上での貴金属蒸着選択性と微細金属パターン形成への応用

〇(B)西村 明梨¹、辻岡 強¹ (1.大教大)

キーワード：金属蒸着選択性、ポリジメチルシロキサン、微細メタルパターン

我々はフォトクロミック・ジアリールエテンの金属蒸着選択性による微細な金属パターン形成を報告してきが、金属種が制限されるため高伝導性金属では実現できていなかった。本研究では、光硬化性ポリジメチルシロキサンを用いた、貴金属の蒸着選択性による微細金属パターンの可能性を探った。レーザー走査による微細硬化パターン形成とマスクレスAg蒸着により、4μm幅のAgパターン形成に成功した。