[16a-P04-1~6] 1.3 新技術・複合新領域

[16a-P04-2] イットリア微粒子の安定供給手法

〇小牧 久¹、横山 卓司¹、高島 徹¹ (1.日本電子株式会社)

キーワード：イットリア、微粒子、安定供給

ナノ粒子や微粒子は、種類に限らず大きな表面積に伴う液架橋力や静電気などの影響によって、凝集していることが一般的に知られている。この中で特に、粉末供給の需要が高いイットリア微粒子に着目し、キャリアガスを搬送手段とする安定供給手法について報告する。