[16a-P04-1~6] 1.3 新技術・複合新領域

[16a-P04-3] MOD法により製作したV_0.75Ti_0.25O₂マイクロボロメータ素子の特性評価

〇藤城 雄飛¹、河原 正美²、佐村 剛²、立木 隆¹、内田 貴司¹ (1.防衛大　電気電子、2.高純度化学研)

キーワード：MOD法、V0.75Ti0.25O2薄膜、ボロメータ素子