[16a-P08-1~12] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[16a-P08-6] Al基板上のGa₂O₃ナノ微粒子を利用した深紫外表面プラズモン共鳴

〇遠藤 創志¹、中塚 祐哉¹、島ノ江 考平¹、松山 哲也¹、和田 健司¹、岡本 晃一¹ (1.阪府大院工)

キーワード：局在型表面プラズモン共鳴、金属ナノ構造、半導体発光素子

我々は深紫外LEDの高効率化に向け，Gaのナノ半球構造を用いた局在型表面プラズモン共鳴(LSPR)の制御に取り組んできた．本研究では金属Gaに比べ入射光の損失を大幅に抑えることができる誘電体のGa₂O₃のナノ半球構造をAl基板上に配置したNano-Hemisphere on Mirror (NHoM) 構造を作製し，スペクトルを観測した．その結果，深紫外波長域にLSPRによるピークを得ることができ，計算結果ともよく一致したので報告する．