[16a-Z03-1~6] 協奏的量子ビーム利用による実用材料研究のススメ ー新しいビームはいかがですかー

[16a-Z03-4] 多層積層膜に埋もれた界面反応可視化のための4D-XPS計測データ逆解析ソフトウェア開発

〇豊田 智史¹、山本 知樹²、吉村 真史³、住田 弘祐⁴、三根生 晋⁴、町田 雅武⁵、吉越 章隆⁶、吉川 彰¹、鈴木 哲²、横山 和司² (1.東北大、2.兵庫県大、3.SP8サービス、4.マツダ、5.シエンタオミクロン、6.原子力機構)

キーワード：X線光電子分光

我々は、埋もれた物質界面における化学反応や材料機能の”動態”を直接計測する手法を確立することを目的とし、4次元時空間計測を可能とするX線光電子分光(4D-XPS)法を提案し、計測・解析技術の高度化を進めている。今回、面内分布を有した埋もれた多層膜界面反応の4次元時空間可視化について、その実現可能性を逆解析シミュレーションにより検証できるようにするソフトウェアを開発したので報告する。