[16a-Z03-1~6] Encouragement for practical material researches with combined use of quantum beams -Would you like to use new quantum beams?-

[16a-Z03-4] Development of inverse analysis software by using 4D-XPS measurement data for the visualization of reactions in buried multi-layer stack-film interfaces

〇Satoshi Toyoda¹, Tomoki Yamamoto², Masashi Yoshimura³, Sumida Hirosuke⁴, Mineoi Susumu⁴, Masatake Machida⁵, Yoshigoe Akitaka⁶, Yoshikawa Akira¹, Suzuki Satoru², Yokoyama Kazushi² (1.Tohoku Univ., 2.Univ. of Hyogo, 3.SPring-8 Service, 4.Mazda, 5.Scienta Omicron, 6.JAEA)

Keywords:XPS

我々は、埋もれた物質界面における化学反応や材料機能の”動態”を直接計測する手法を確立することを目的とし、4次元時空間計測を可能とするX線光電子分光(4D-XPS)法を提案し、計測・解析技術の高度化を進めている。今回、面内分布を有した埋もれた多層膜界面反応の4次元時空間可視化について、その実現可能性を逆解析シミュレーションにより検証できるようにするソフトウェアを開発したので報告する。