The 68th JSAP Spring Meeting 2021

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Oral presentation

3 Optics and Photonics » 3.15 Silicon photonics and integrated photonics

[16a-Z10-1~10] 3.15 Silicon photonics and integrated photonics

Tue. Mar 16, 2021 9:15 AM - 12:00 PM Z10 (Z10)

Yuya Shoji(Tokyo Tech), Takuma Aihara(NTT)

10:00 AM - 10:15 AM

[16a-Z10-4] Reduction of Absorption Loss of a-Si:H Waveguide on Ce:YIG by Annealing Process

Toshiya Murai1, Yuya Shoji1, Nobuhiiko Nishiyama1, Tetsuya Mizumoto1 (1.Tokyo Tech.)

Keywords:photonic integrated circuit, magneto-optical material, photonic waveguide

磁気光学材料Ce:YIGは、光アイソレータなどの非相反光素子実現に不可欠である。しかし、吸収損失が大きくデバイス特性改善のために、この低減が必要である。今回、Ce:YIG上に形成したa-Si導波路を用いて伝搬損失を測定した。その結果Ce:YIGを800°Cでアニール処理することで吸収損失が1/3程度まで減少することがわかった。本発表では、結果の詳細と、その導波路を用いて作製した高Qリング共振器の特性などについて報告する。