[16a-Z10-1~10] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[16a-Z10-9] 高Q値中赤外Siマイクロディスク共振器

〇三宅 拓磨^1,3、徐 学俊¹、澤野 憲太郎³、丸泉 琢也³、俵 毅彦^1,2、後藤 秀樹¹ (1.NTT 物性研、2.NTT NPC、3.都市大総研)

キーワード：光センシング、導波路

私たちは、Si薄膜層 (220 nm) のSOI基板による、中赤外波長領域(3.27 µm)において、Q値が10⁴ のガスセンシングのための高Q値マイクロディスク共振器を実現することできた。