[16a-Z13-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[16a-Z13-1] スパッタ法による ScAlMgO4基板上 AlN バッファ層の検討

〇寶藏 圭祐¹、韓 東杓¹、眞野 稜也¹、高橋 遼¹、藤木 領人¹、平松 稜也¹、澤井 奏人¹、上山 智¹、竹内 哲也¹、岩谷 素顕¹、赤崎 勇²、福田 承生³、藤井 高志³ (1.名城大学、2.名古屋大・赤崎記念研究センター、3.福田結晶技術研究所)

キーワード：AlN バッファ層