[16a-Z13-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[16a-Z13-12] Si/SiO₂界面に沿った熱伝導率の基板面方位依存性

〇山中 湧司¹、滝澤 諄弥¹、富田 基裕¹、渡邉 孝信¹ (1.早大理工)

キーワード：半導体