[16a-Z15-1~7] 6.6 プローブ顕微鏡

[16a-Z15-3] 二重バイアス変調静電引力顕微鏡による直接貼り合わせp-n接合の断面解析

〇(DC)福澤 亮太¹、梁 剣波³、重川 直輝³、高橋 琢二^1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構、3.大阪市大工)

キーワード：界面準位、静電気力顕微鏡、原子間力顕微鏡