11:45 AM - 12:00 PM
[16a-Z23-11] Bulk moduli and bulk thermal expansion coefficients of silicides
Keywords:silicides, thermal expansion coefficient, bulk modulus
本研究では、CoSi2の熱膨張係数を再評価し、シリサイドの体積弾性率と熱膨張係数の関係を調べた。
Oral presentation
13 Semiconductors » 13.2 Exploratory Materials, Physical Properties, Devices
Tue. Mar 16, 2021 9:00 AM - 12:00 PM Z23 (Z23)
Haruhiko Udono(Ibaraki Univ.), Kenji Yamaguchi(QST)
11:45 AM - 12:00 PM
Keywords:silicides, thermal expansion coefficient, bulk modulus