[16a-Z23-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-Z23-2] スパッタリング法によるB-doped BaSi₂膜の作製と評価

〇長谷部 隼¹、根本 泰良¹、小板橋 嶺太¹、召田 雅実²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)

キーワード：BaSi2、スパッタリング