[16a-Z23-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-Z23-3] Co-sputteringによる赤外域で透明な多結晶β-FeSi₂薄膜の作製

〇(M2)チョウ ケンイ¹、名村 今日子¹、鈴木 基史¹ (1.京大院工)

キーワード：鉄シリサイド、Co-sputtering、消衰係数